第256章 人再笨,还能不会手搓光刻机吗? (第1/2页)
“人再笨,还能不会手搓光刻机吗?”
听到这句话,陈敬一等人差点没跪下!
大哥,这是人说的话吗?
陈敬一在心里疯狂咆哮,他14岁进少年班,16岁拿全国大奖,18岁保送6**所,师从国内超精密加工第一人,主持过的项目让所长都得客客气气。
可此刻,他觉得自己像个刚上幼儿园的孩子,被人塞了一本微积分,然后对方拍拍他的头说:来,算着玩。
沈秋站在旁边,推了推眼镜,手指在镜框上停了很久。
她脑子里只有一个念头:我是不是还没睡醒?
人群里的郑虎,两只手攥在一起,指节咔咔响。
他以前在戈壁滩上待了七年,见过无数大场面,可从来没有哪一次,让他觉得自己的心脏跳得这么不争气。
不过现在不是震惊的时候,少年已经动了。
季白先拿起的,是最重的那件,超光滑陶瓷导轨。
那玩意儿在防震箱里躺了一整夜,光运输固定螺栓就上了十二组。
沈秋张了张嘴,刚想说“这个是不是要用专用工装才能拆”,就见季白拿起一把扭矩扳手,像转笔一样在手里翻了个花。
“咔、咔、咔——”
十二颗高精度螺栓,依次落下。
每一颗的角度、顺序、力度,全不一样。
沈秋的眼睛猛地睁大了。
她是光学系统出身,和这些精密结构打交道快十年了,太清楚螺栓预紧的规矩了。
高精度导轨的螺栓,讲究顺序预紧、对称加载、分步拧紧,每一步都要用测力仪校准扭矩,稍微差一点,整条导轨就会产生微米级的形变。
那点形变,肉眼看不见,可装到光刻机上,光路就会偏,整个系统就废了。
可现在,眼前这个少年,连图纸都没看,连测力仪都没用,直接凭手感?
更可怕的是,他拧螺栓的顺序,沈秋看了几颗之后才反应过来,那竟然是最优解!
不是标准流程里的任何一种。
是比标准流程更优的解法。
季白根据导轨的结构特点、材质分布、温度梯度,心算出了一套全新的预紧顺序。
每一颗螺栓的扭矩,都被精确控制在了某个范围内,误差不超过百分之三。
沈秋傻了!
她张着嘴,一个字都说不出来。
紧接着,季白把导轨放到装配台上,随手拿起一块高纯石英掩膜基板,在眼前晃了晃,像检查西瓜熟不熟一样,然后往导轨上一扣。
“啪嗒”一声。
严丝合缝。
“不能这么做!基板和导轨之间不能有半点间隙!”
一个搞真空系统的瘦高男人失声叫道,声音都破了音。
他叫孙毅,干了八年真空腔体设计,对间隙的敏感程度到了近乎病态的地步。
在他看来,这种级别的基板装配,至少需要三坐标测量仪反复校准,再用塞尺确认间隙,最后才能上固定件。
可季白直接扣上去了。
“我知道啊。”
季白头也不回,又拿起一块特殊合金垫片,手指轻轻一压,垫片像薄纸一样服服帖帖地贴在了连接处。
“看好了,这个合金,是专门用来补偿热膨胀系数的。”
“成分:铁基镍铬钼,含镍36.2%,含铬0.4%,含钼0.3%,余量铁,晶粒尺寸控制在8微米以下。”
“热处理工艺:950度固溶,水淬,再300度时效,硬度HRC38,热膨胀系数控制在0.8×10⁻⁶/K。”
“这种料,你要用错了,导轨和基板一发热,整个系统就漂了。”
季白一边说,一边已经拿起了下一个零件。
人群里,一个材料出身的青年直接倒吸一口冷气。
他叫方铭,中科院金属所出身,博士论文做的就是铁镍合金的相变控制,毕业后被分配到某军工材料研究院,主持过三个国家级材料攻关项目。
可以说,国内搞铁镍基精密合金的人,他排得进前二十。
可此刻,他盯着季白手里那块薄薄的垫片,整个人像被雷劈了一样。
“这……这是你自己设计的合金体系?”
“不然呢?”
季白转头看了他一眼,手中的动作却半分没停:“买现成的太慢了,昨晚就顺手拉了几炉。”
顺手……拉了几炉?
还昨晚?
方铭觉得自己的脑子嗡了一声。
他想起自己博士期间,为了调出一个满足航天级要求的热膨胀系数,整整做了两年实验,拉了几百炉样品,最后才勉强达标。
那两年里,他几乎住在实验室,连过年都没回家。
可现在,季白说:顺手拉了几炉?
旁边有人小声问:“这合金很厉害吗?”
方铭没回答。
他盯着季白手里的垫片,嘴唇哆嗦了半天,最后只挤出五个字:
“这东西,是无价之宝。”
热膨胀系数0.8×10⁻⁶/K,晶粒8微米,HRC38。
这参数,放到航天级精密平台上,是要签绝密文件才能看的东西。
结果季白像发饼一样,随手就掏了出来。
而接下来,让所有人彻底说不出话的画面,才刚刚开始。
“这是光源模块。”
季白拿起一组光学镜片,开始装配。
“这套光路,用的是我改过的深紫外方案,波长193纳米,经过液态浸没,等效波长小于134纳米。”
“你们看这个镜片,表面镀了九层膜,最外面那层,是我用原子层沉积做的。膜厚均匀性,正负0.05纳米。”
“别碰,摸了就废了。”
他一边说,一边把镜片按照某种极其诡异的顺序,一片片卡入镜筒。
每一片入位的角度、扭矩、缝隙,全都不一样。
沈秋站在三步之外,眼睛一眨不眨地盯着季白的每一个动作。
她是长光所光学系统设计出身,见过国内最顶尖的光学装调师傅。
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